■ 目標(biāo)流體：氣體 N?、空氣、H?、He、Ar、O?、CO? 等 ■ 最大流量：氣體 10SCCM~5SLM ■ 精度：±1%S.P. （25~100%F.S.） ±0.25%F.S.（~25%F.S.） 金屬密封件 高精度測量，具有 SP 精度、全流量控制范圍、1 秒內(nèi)響應(yīng) 氣體類型可通過旋轉(zhuǎn)開關(guān)切換 RS485 通信功能，模擬輸入/輸出 0-5VDC/4-20mA 可選，電源 ± 15VDC/24VDC 可選

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