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進(jìn)口供應(yīng)HORIBA堀場(chǎng)氣體監(jiān)測(cè)儀IR-400 隨著半導(dǎo)體制造薄膜沉積工藝中微細(xì)加工的進(jìn)步，處理后保持腔室清潔對(duì)于提高生產(chǎn)率變得非常重要。 IR-400系列是用于薄膜沉積工藝的腔室清潔終點(diǎn)檢測(cè)監(jiān)視器，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)廢氣成分（SiF4、CF4）。通過(guò)優(yōu)化干洗終點(diǎn)檢測(cè)、減少清潔氣體消耗和時(shí)間以及減少室損壞，有助于延長(zhǎng)零件的使用壽命。

原裝供應(yīng)HORIBA堀場(chǎng)隔膜真空表VG-200S 過(guò)程壓力測(cè)量是半導(dǎo)體、平板顯示器、光伏板、硬盤(pán)、涂料等許多行業(yè)的一項(xiàng)重要技術(shù)。電容式壓力計(jì)利用帶有對(duì)電極的電容來(lái)測(cè)量膜片兩側(cè)壓力差引起的位移量，并將其轉(zhuǎn)換為壓力。

日本進(jìn)口HORIBA堀場(chǎng)激光氣體分析儀LG-100 LG-100系列配備了HORIBA專有的紅外氣體分析技術(shù)“IRLAM TM ”（紅外激光吸收調(diào)制），可實(shí)時(shí)測(cè)量半導(dǎo)體制造蝕刻過(guò)程中產(chǎn)生的廢氣成分SiF4，并檢測(cè)微量的SiF可以從4中檢測(cè)端點(diǎn)的變化。

原裝HORIBA堀場(chǎng)排氣壓力控制器EC-5104 這是一種排氣壓力控制器，可將腔室的內(nèi)部壓力控制為您選擇的恒定值。高分辨率步進(jìn)電機(jī)結(jié)構(gòu)的蝶閥提供高速響應(yīng)和高分辨率性能。

日本原裝HORIBA堀場(chǎng)PV-1000壓電閥 一種高速響應(yīng)閥，用于使用來(lái)自外部設(shè)備的控制信號(hào)來(lái)控制氣體流量或壓力。采用金屬膜片和金屬O型圈。與氣體接觸的部件采用全金屬結(jié)構(gòu)，兼容超潔凈。不僅可以控制氣體，還可以控制液體。

北崎HORIBA堀場(chǎng)數(shù)顯自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器UR-Z700 這是一款配備數(shù)字控制電路的自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器，該電路使用高精度壓力傳感器和高分辨率、高速響應(yīng)壓電閥。 采用全金屬結(jié)構(gòu)（氣體接觸部分）和無(wú)死體積結(jié)構(gòu)，可對(duì)腐蝕性氣體和低蒸氣壓氣體進(jìn)行穩(wěn)定的壓力控制。它可以使用